デスクトップホットプレート
プリベーク・ポストベークに適した、デスクトップサイズのホットプレート。 用途に合わせたカスタマイズ可能。SPS社製
SPS社製の精密ホットプレートです。この卓上型のホットプレートは、プレート（チャック）の交換やアップグレードが容易で、多目的かつR&Dやパイロット生産に最適です。
シングル及びダブル基板に対応しています（φ200mmウェハにも対応）。デュアルプロセッシング向けに、表面上にいくつかの異なる温度を設定する事が可能です。精密なデジタル温度コントローラーにより、1℃単位での温度設定が出来ます。ソフトベーク、ハードベーク処理、およびフォトレジストや樹脂のキュアリングや、精密な温度制御が必要とされるあらゆる工程に適しています。
特徴
- 低い表面温度：ヒーティングユニットは傾斜状になっています（安全なハウジング温度）
- 診断用シリアルインターフェース(RS232)
- 精密温度制御システム: 温度の均一性.: +/- 0.5℃
- デジタル温度コントローラー: 1℃単位で調整可能
- アラートサウンド機能付きカウントダウンタイマー (1-999秒)
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記入時注意事項
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| 製品分類1 | 微細加工装置 |
|---|---|
| 製品分類2 | ホットプレート |
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