リテーナーリング
CMP リテーナーリング:高機能(寿命、ユニフォミティー/均一性改善モデル)
主要消耗パーツを「材料」及び「設計」変更の観点からアップグレードし、トータルランニングコストの大幅な削減に貢献します。
長寿命リテーナーリング
ESP Spares社が開発した「X3G」材は、リテーナーリングの長寿命化に加え、面内プロファイルの改善も実現できる画期的な"樹脂材料"です。メンテナンスコストの削減以外にも歩留りの改善も可能にし、CMP工程で生じるトータルコストを大幅に改善することができます。
X3Gの特徴
- 純正品に比べ、最大4倍の寿命を実現します。
- サイドアタック、面内均一性の悪化等の2次的問題を解決!
- 再生可能です。
X3Gは従来PPSの利点を保持しつつリングライフを大幅に改善した 高機能樹脂 です。
X3Gの性能:良質なCMPに求められる重要プロセスパラメータ
CMPにより良いリテーナーリングとは?新素材X3Gを使ったリテーナーリングなら、下表のような優位性があります。つまり、X3Gは従来のPPSの利点を保持しつつも、より良いプロセス結果を得られる、画期的な高性能樹脂と言えます。
プロセスパラメータ別、X3G性能比較
リング寿命 | PPS 平均1,500枚 | ⇒ | X3G 6,600枚の実績 | |
---|---|---|---|---|
ディフェクト(欠陥) | PPS | < | X3Gの方が少ない! | 歩留り向上! |
パーティクルレス | PPS | < | X3Gが優位! | 歩留り向上! |
マイクロスクラッチ | PPS | < | X3Gが優位! | 歩留り向上! |
リムーバルレート | PPS | = | X3G | 評価が容易に! |
ユニフォミティー | PPS | < | X3Gが優位! | 評価が容易に! |
サルファイドフリー | PPS | = | X3G | サルファイドによる汚染無し |
X3Gがベストな理由/主な特徴
"低摩耗"+"低サイドアタック"性能によるCMPコストの低減!
CMP用リテーナーリングを構成する素材は、硬ければ良いというものではありません。
X3G材の長寿命メカニズム
PPS
- ウェハの研摩と比例してPPSも摩耗
- その結果、常に90°の内壁が確保でき、安定したCMPを実現
- デメリット=樹脂の摩耗が早い
従来の長寿命樹脂
- ウェハの研摩に対して樹脂が消耗しない
- その反面、継続的にウェハが衝突した リング内壁に打痕が発生し、面内プロファイルが悪化。
X3G
- ウェハの研摩に対して樹脂が消耗 せず、更にウェハのサイドからの 衝突にも強いため、結果的に樹脂 の消耗を最小限に食い止めながら、 安定したCMPを実現
従来の長寿命リテーナーリングが解決できなかった“樹脂のサイドアタックトラブル(内壁の打痕)”を樹脂への特殊処理を施すことで完全に克服しました。これによりPPSと同等レベルの安定したCMPを樹脂の厚みを犠牲にすることなく実現できます。
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