ポリマーMEMSソリューション

ポリマーMEMSとは、従来のシリコン系MEMSと違い、有機材料を用いた量産性に優れるMEMSデバイスです。IoT/トリリオンセンサー時代における有力なデバイスとして注目されています。
これまでSiを基板としていたMEMSから、材料特性を活用した「ポリマーMEMS」が注目されています。 当社では、「微細加工技術」をポリマーへ応用展開することに早くから取り組んでおり、今後様々な分野へ転用されるポリマーMEMS事業の技術展開をサポートします。

ポリマーMEMSの特徴

  • 軽い => 既存のモノへの埋め込みが可能(靴・器具・タグ等)

  • 薄い => 隙間への取り付けが可能(歯車・熱接触・電気接触等)

  • 大面積 => 印刷プロセスでの製造が可能

  • 曲がる => 曲面への貼り付けや伸縮物の表面への貼り付けが可能(電化製品・配管・タイヤ・皮膚等)

  • 切れる => 製造後に必要サイズへのカット調節が可能

ポリマーを利用した試作・応用事例

ポリマーの特徴  応用例 プロセス
光学特性 マイクロレンズアレイ・フレキシブル光学(素子)・その他 ナノインプリント
フォトリソ・Ni電鋳
熱膨張性 薄膜熱電対薄膜メンブレン・その他 成膜フォトリソ
生体的合成 医療用デバイス・マイクロ流体チップ・その他 成膜フォトリソ エッチング
柔軟性 高分子メモリデバイス・低消費電力変位デバイス・その他 成膜フォトリソ
ナノインプリント

ポリマーMEMS試作動画

資料ご協力:早稲田大学 岩瀬教授

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製品分類1 MEMS
製品分類2 MEMS試作
プロセス分類
サムネイル画像 ポリマーMEMS
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