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ITOスパッタ膜のシート抵抗値及び透過率

  波長(400nm) 波長(600nm) 波長(800nm)
中型機(膜厚100nm、45Ω/□) 85.8% 89.7% 88.5%
大型機(膜厚100nm、60Ω/□) 84.0% 86.8% 87.7%
中型機(膜厚300nm、15Ω/□) 58.7% 88.2% 86.8%
大型機(膜厚300nm、20Ω/□) 55.1% 84.4% 81.6%
  • 中型機の上記透過率有効範囲は、外形Φ200mm xΦ80mm のドーナツ状。
    (50mm角×6枚程度/バッチ、Φ8"×1枚/バッチは上記透過率より低下)
  • 大型機の上記透過率有効範囲は、Φ340mm以内。
    (100mm角×16~20枚/バッチ 及びΦ12"×4枚バッチ)
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FAX:044-854-1979(代)
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