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シリコン/ガラス基板、膜付きウエハ、TEGウエハー

Si(シリコン)ウェハ基板の画像
  • 徹底した品質管理のもとで各種の高品質ウエハを提供しております。
  • 少量の御発注に対してもお引き受けしております。
  • 酸化膜(SiO2)付ウエハの供給もしております。
  • ガラス基板(石英、パイレックス等)の手配も可能です。

シリコンウェハ

高純度なシリコンの塊(インゴット)をスライスしてウェハ状にしたものです。半導体、太陽電池に関わる電機メーカーや素材、材料メーカーには欠かせないもので製品となる高品質で量産性の高いものから、研究用途に使用される特殊な仕様のものなど、様々な分野で使用されております。

名称 用途 装置、工程
モニターウェハ 品質チェック、条件設定用途 インプラ、スパッタ、CVD
ダミーウェハ 搬送チェック、冶具代用、パーティクルチェック用途 搬送機器、酸化炉
再生ウェハ 搬送チェック、冶具代用、パーティクルチェック用途 搬送機器、酸化炉
メタル膜付ウェハ 電極、拡散防止、反射用、シード層、遮光用途 コーター、デベロッパー、エッチャー
酸化物薄膜ウェハ 太陽電池、タッチパネル用途 コーター、デベロッパー、エッチャー
ザグリウェハ サセプター、ステージ、トレイ用途 CVD、分析機器
薄厚ウェハ 三次元集積回路、センサー用途 接合装置
貼り合わせウェハ パワーデバイス、MEMS用途 CMP、エッチャー
角型ウェハ 各種研究用途 -

サイズは1インチ~16インチまで対応可能です。 チップ(□型)形状にカットが可能です。

シリコンウェハの加工一覧
  • スライス加工
  • 酸エッチング
  • 研磨加工
  • RCA洗浄
  • パーティクル測定
  • ダイシング加工
  • ベベリング(面取り)加工
  • アニール加工
  • ザグリ加工
  • 溝掘り加工

サファイアウェハ

LED、GaN結晶成長基板として使用されるもので、1インチ~6インチ、特殊形状のご依頼にもお応えします。

用途は各種窓材、光デバイス、レンズ、センサーなど。

ガラス基板

電子用、光学用、工業用、医療用、用途は多種多様ですが、研究に使用されるサイズ、特殊形状のご依頼にお応えします。

名称 解説
ソーダガラス 窓や瓶に使用される一般的なもの
石英ガラス 最高純度のSiO2で、薬品耐性、耐熱性、絶縁性に優れる
合成石英 赤外線、紫外線透過率が高く、光学用レンズ、フォトマスクなどに使用
パイレックス、テンパックス 耐熱性、強度に優れ化学的腐食に耐える硬質ガラス
アルミナ珪酸ガラス 高温耐熱性に優れ、赤外線透過率の高いガラス
FTOガラス 素増感型太陽電池の研究開発用途の導電性ガラス
コーニング1737 イーグル2000の前身。1990年代LCD用の標準ガラス
イーグルXG ハロゲン化合物を含まないLCD用ガラス
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バイオ

[バイオ研究用 機器・試薬]

  • 核酸
  • 細胞培養・イメージング
  • タンパク質・有機物

[バイオ技術を用いた商品]

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