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CVD 実績表

装置仕様 作業雰囲気 主な加工内容 基板対応サイズ
常圧CVD クリーンルーム、 基板洗浄可能 SiO2、PSG、他 Φ4"、Φ5"
LP-CVD クリーンルーム、 基板洗浄可能 poly-Si、他 Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ6"
PE-CVD クリーンルーム、 基板洗浄可能 SiO2、SiN Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ6"、Φ8"
TEOS Φ4"、Φ5"、Φ6"
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TEL:044-852-7575(電子部)
FAX:044-854-1979(代)
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