株式会社協同インターナショナル

English
お問い合わせ
  1. 協同インターナショナルHOME
  2. 電子MEMS
  3. ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」
  4. 半導体製造工程 半導体製造装置(部品)洗浄

半導体製造工程 半導体製造装置(部品)洗浄

半導体製造工程における半導体製造装置(部品)洗浄では、一般的に、外注委託の洗浄業者による薬液洗浄が一般的です。しかし…

薬液洗浄外部委託の問題点
(1) 納期にあわせて部品在庫を確保しなければならない。
(2) 受渡・受取時の検査が面倒。
(3) 洗浄コストが高い。

ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」により、超クリーンかつ、表面(アルマイト・溶射等)を傷つけない洗浄が可能となります!

実際に、ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」で洗浄してみると…

薬液では落としきれないパーティクル・細穴部の最適洗浄例のご紹介

アルミナ部品
アルミナ部品
洗浄前 薬液洗浄後 スーパーブラスト洗浄後
アルミナ部品洗浄前 アルミナ部品薬液洗浄後 アルミナ部品スーパーブラスト(ドライアイス)洗浄後
細穴貫通部品
細穴貫通部品
洗浄前 薬液洗浄後 スーパーブラスト洗浄後
細穴貫通部液洗浄前 細穴貫通部品薬液洗浄後 細穴貫通部品スーパーブラスト(ドライアイス)洗浄後

結果的にこのようなメリットがあります

真空装置部品クリーニング処理を薬液洗浄から変更したことにより、ダミーランタイムの削減ができ、ライン立上げ時間を短縮できました。

真空装置部品クリーニング処理における仕上げ時間のグラフ 真空装置部品クリーニング01

当社ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」の、パウダー状の微細なドライアイスを吹きつける独自の方法により、半導体製造装置の部品表面に残留するパーティクルや、シャワープレート等の狭深部(細穴、スリット)への洗浄効果が向上します。

川崎ものづくりブランドロゴ
電子MEMS製品・サービスへのお問い合わせ
TEL:044-852-7575(電子部)
FAX:044-854-1979(代)
株式会社 協同インターナショナル
〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
PAGE TOP

バイオ

[バイオ研究用 機器・試薬]

  • 核酸
  • 細胞培養・イメージング
  • タンパク質・有機物

[バイオ技術を用いた商品]

株式会社 協同インターナショナル
〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
TEL:044-852-7575(電子部)
FAX:044-854-1979(代)
電子MEMS製品・サービスへのお問い合わせ
Copyright © KYODO INTERNATIONAL,INC.
all rights reserved.
本サイト掲載の社名ロゴ・製品などは、各社の商標及び登録商標です。
本サイト内のイラスト・写真・文面等をご利用の際はご連絡下さい。