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真空バルブ(ゲートバルブ)オーバーホール(VAT、HVA等)

メンテナンスコストの削減提案!!

スパッタ、CVD、エッチャー、インプラ等に使用される真空バルブのオーバーホールを
"リーズナブルプライス""短納期"で対応します。

特徴

画像:真空バルブ(VATゲートバルブ)オーバーホール :半導体製造装置用消耗パーツ(部品)再生サービス
  • リーズナブルプライス。
  • 短納期対応:Max 30日(通常60日以上)。
  • 信頼性の高い交換部品の採用。
  • 動作確認用のコントローラーも準備可能
  • リークチェック、バルブのオープン/クローズチェックも承ります。
  • 納入後も安心してご利用頂ける3ヶ月保証。
  • 修理も承ります。

再生サービスの流れ

画像:真空バルブ(VATゲートバルブ)オーバーホールサービスフロー

再生サービス実績例(参考)

画像:真空バルブ(VATゲートバルブ)オーバーホール実績例

半導体装置部品の
販売/再生/修理/オーバーホール

CMPランニングコスト低減
・作業性改善用オリジナルパーツ

CMP修理/再生/オーバーホール

CMP設備改良・トラブル未然防止
機能追加サービス

イオン注入(インプラ)
修理/再生/オーバーホール

スパッタリング/CVD/エッチング
修理/再生/オーバーホール

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FAX:044-854-1979(代)
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