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静電チャック(Eチャック/ESC)&ヒーター再生

静電チャック(Eチャック/ESC)&ヒーター再生スパッタリング/CVD装置用静電チャック(ESC)を
独自の再生技術を用いて再生します。
超高額パーツの代表格でもある“静電チャック”を再生することで
大幅なメンテナンスコスト の削減が実現可能となります。

ヒーター再生フロー

ヒーター再生:簡易再生フロー

半導体装置部品の
販売/再生/修理/オーバーホール

CMPランニングコスト低減
・作業性改善用オリジナルパーツ

CMP修理/再生/オーバーホール

CMP設備改良・トラブル未然防止
機能追加サービス

イオン注入(インプラ)
修理/再生/オーバーホール

スパッタリング/CVD/エッチング
修理/再生/オーバーホール

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