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イオン注入(インプラ) 電源(DC/RF)の修理/保守

修理~洗浄~オーバーホール~査定~校正~中古品販売に至るまで、
イオン注入装置に関わる幅広いニーズにお応えします。

イオン注入 電源・ボード修理(リペア) - 半導体製造装置用消耗パーツ(部品)再生サービス
修理実績電源・ボード類(代表例)
  • DAQボード Version H, B
  • G2パワーサプライ Hitek
  • HVエクストラクションP/S(パワーサプライ)
  • ソースサプレッションP/S
  • アドバンスハイボルテージDualレンジPreアクセルPSU
  • エクストラクションP/S HV Stack 80-HV Stack 80kV 4ディスク
  • サプレッションP/S Glassman HV
  • フィラメントP/S
  • ソースマグネットP/S
  • 160kVポストアクセルコンバーターP/S
  • アナライザーP/S
  • PSU XANTREX 7.5V 80A FIL MK5.5
  • PSU XANTREX 600V 2A BIAS MK5.5
  • PSU XANTREX 150V 7A ARC MK5.5
  • ファーネルハイボルド 80kV 8kW Stack
  • ガスボックス
  • バッチノッチオリエンター(BNO)
  • マイクロコントローラー
  • チルトアームアッセンブリー
  • クワドローテートグリッパー
  • ホイールスピン電源アンプ
  • バキュームゲージコントローラー

リストアップしたものはあくまで代表例です。
他にも対応できるものが多数ありますので是非一度お問合わせ下さい!

半導体装置部品の
販売/再生/修理/オーバーホール

CMPランニングコスト低減
・作業性改善用オリジナルパーツ

CMP修理/再生/オーバーホール

CMP設備改良・トラブル未然防止
機能追加サービス

イオン注入(インプラ)
修理/再生/オーバーホール

スパッタリング/CVD/エッチング
修理/再生/オーバーホール

電子MEMS製品・サービスへのお問い合わせ
TEL:044-852-7575(電子部)
FAX:044-854-1979(代)
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〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
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バイオ

[バイオ研究用 機器・試薬]

  • 核酸
  • 細胞培養・イメージング
  • タンパク質・有機物

[バイオ技術を用いた商品]

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