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イオン注入(インプラ) プローブ/パーティクルモニター HYT修理/保守/洗浄

HYTパーティクルモニターの 修理、洗浄サービスです。
故障の状態により、最も適切な再生方法を選択し、お客様のコスト低減に役立てます。

イオン注入 ブッシング修理(リペア) - 半導体製造装置用消耗パーツ(部品)再生サービス

フローチャート

フロー

FAQ

Q. 修理品の出荷検査はどのように行っていますか?
A. 3つのパラメーターチェックを行いスペック内に収まっているかを確認します。(パラメーター: Strayライト、レーザー電流、平均ノイズ)またこれらが24~72時間安定した値を示していることを出荷基準とします。
Q. 修理後の検査で実際のパーティクル量をカウントすることができますか?
A. 実際のパーティクル量は測定できません。上記パラメーター(電気信号)にてノイズと光のレベルがスペック外である場合、実際のパーティクルカウント数に影響があるものと判断し合否を決めています。
Q. 作業の継続は判定後の内容次第で判断することはできますか?
A. はい。但し分解作業、輸送費などについては請求の対象となることがあります。
Q. 新品販売はしていますか?
A. 新品は取り扱っていません。
Q. 修理費用は定額ですか?それとも変動しますか?
A. 製品の状態により変動します。修理や部品交換をするケースが大半ですが洗浄(クリーニング)のみで済む場合もあります。
Q. HYTとコントローラーをいっしょに送る必要はありますか?
A. 修理後の動作確認にコントローラーが必要になるためいっしょに 送っていただく必要があります。
Q. 故障品の診断査定後の見積金額を見て、修理を進めるか決めることはできますか?
A. はい。しかし修理しない場合はこれまで発生した費用(診断査定費用と運送費)をご負担頂きます。
Q. 納期はどのくらいかかりますか?
A. 修理品を受け取ってから約4~5週間です。

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