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イオン注入(インプラ) 静電チャック(Eチャック/ESC)再生

イオン注入装置用静電チャック(ESC)を独自の再生技術、材料を用いて再生します。
純正品で問題視される部分を改善できる“アップグレードタイプ”の再生です。

特徴

オリジナルの“ハードミネラルコーティング”により以下の点で純正より優れた性能を発揮します。

  • スクラッチ、チッピング、アーキング、層間剥離の低減
  • IPAやアセトンなどの溶剤で拭き取れるため簡易洗浄が実現可能⇒寿命延長の実現
  • ディンプル構造のESCにより均一性の高い冷却、裏面パーティクル低減が実現可能
  • 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用ESCに対応可能
  • 使用済ESCとのエクスチェンジが可能

フローチャート

イオン注入 ダイレクトドライブ(DD)モーター再生/修理(リペア)のフローチャート eチャック

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