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イオン注入(インプラ) ダイレクトドライブ(DD)モーター修理/保守

イオン注入装置で使用される高額なダイレクトドライブモーター及び
ベルトドライブモーターの修理をリーズナブルプライスで対応します。

特徴

イオン注入 ダイレクトドライブ(DD)モーター再生/修理(リペア)
  • ダイレクトドライブ方式、ベルトドライブ方式共に対応可能です。
  • 200mm、300mm用共に対応可能です。
  • 全ての「モータータイプ」に対応しています。
  • 交換パーツに純正部品を使用しています。
  • 磁気シールの交換も対応しています。
  • オーバーホール後の運転試験(電気・真空/水リーク)を実施しています。
  • 純正品と比べて1/2の価格が実現できます。

フローチャート

イオン注入 ダイレクトドライブ(DD)モーター再生/修理(リペア)のフローチャート

FAQ

イオン注入 ダイレクトドライブ(DD)モーター再生/修理(リペア)
Q. 交換する内部の磁気シールは純正品ですか?
2nd/3rdベンダー品ですか?
A. 純正品を使用します。
Q. スピンドルモーターを交換する基準は何ですか?
A. 分解後、モーター部品の錆び、破損状態などの目視チェックで判断します。
Q. 作業の継続は判定後の内容次第で判断することはできますか?
A. はい。但し分解作業、輸送費などについては請求の対象となることがあります。
Q. 保障期間はどのくらいですか?
A. 納入後6ケ月になります。修理製品受領後、取り付けるまでに長期を要する場合は別途協議の上決定させて頂きます。

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