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CMP ロータリーユニオン修理/保守/オーバーホール

フレクサー:強化型(耐久性向上モデル)ポリッシングヘッドへのエアー供給機構である 「ロータリーユニオン」
をリーズナブルプライスで再生します。

特徴

  • 200mm / 300mm用CMP装置向けに対応可能です。
  • 3~6ポート用全てにおいて修理可能です。
  • 実際のCMPプロセスにおける使用環境下と同一条件で検査を実施し、品質保証します。 梱包用の専用通い箱も準備します。
  • 純正新品の50%、修理は30%のコスト削減が実現できます。

半導体装置部品の
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