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CMP リテーナーリング:高機能(寿命、ユニフォミティー/均一性改善モデル)

主要消耗パーツを「材料」及び「設計」変更の観点からアップグレードし、
トータルランニングコストの大幅な削減に貢献します。

CMP ロンガーライフ(長寿命)リテーナーリング

長寿命リテーナーリング

SPM Technology社が開発した「X3G」材は、リテーナーリングの長寿命化に加え、面内プロファイルの改善も実現できる画期的な"樹脂材料"です。メンテナンスコストの削減以外にも歩留りの改善も可能にし、CMP工程で生じるトータルコストを大幅に改善することができます

X3Gの特徴

  • 純正品に比べ、最大4倍の寿命を実現します。
  • サイドアタック、面内均一性の悪化等の2次的問題を解決!
  • 再生可能です。

X3Gは従来PPSの利点を保持しつつリングライフを大幅に改善した高機能樹脂です。

CMP ロンガーライフ(長寿命)リテーナーリング

X3Gの性能:良質なCMPに求められる重要プロセスパラメータ

CMPにより良いリテーナーリングとは?新素材X3Gを使ったリテーナーリングなら、下表のような優位性があります。つまり、X3Gは従来のPPSの利点を保持しつつも、より良いプロセス結果を得られる、画期的な高性能樹脂と言えます。

プロセスパラメータ別、X3G性能比較
リング寿命 PPS 平均1,500枚 X3G 6,600枚の実績  
ディフェクト(欠陥) PPS < X3Gの方が少ない! 歩留り向上!
パーティクルレス PPS < X3Gが優位!
マイクロスクラッチ PPS < X3Gが優位!
リムーバルレート PPS X3G 評価が容易に!
ユニフォミティー PPS < X3Gが優位!
サルファイドフリー PPS X3G サルファイドによる
汚染無し

X3Gがベストな理由/主な特徴

"低摩耗"+"低サイドアタック"性能によるCMPコストの低減!
CMP用リテーナーリングを構成する素材は、硬ければ良いというものではありません

X3G材の長寿命メカニズム
PPS
図解:従来PPSのメカニズム
  • ウェハの研摩と比例してPPSも摩耗
  • その結果、常に90°の内壁が確保でき、安定したCMPを実現
  • デメリット=樹脂の摩耗が早い
従来の長寿命樹脂
図解:従来PPSのメカニズム
  • ウェハの研摩に対して樹脂が消耗 しない
  • その反面、継続的にウェハが衝突した リング内壁に打痕が発生し、面内 プロファイルが悪化。
X3G
図解:従来PPSのメカニズム
  • ウェハの研摩に対して樹脂が消耗 せず、更にウェハのサイドからの 衝突にも強いため、結果的に樹脂 の消耗を最小限に食い止めながら、 安定したCMPを実現

従来の長寿命リテーナーリングが解決できなかった“樹脂のサイドアタックトラブル(内壁の打痕)”を樹脂への特殊処理を施すことで完全に克服しました。これによりPPSと同等レベルの安定したCMPを樹脂の厚みを犠牲にすることなく実現できます。

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