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CMP洗浄 ブラシタンク、メガタンク 修理/オーバーホール

ブラシタンク用 QCドライ/ウェットサイドアッセンブリー(滑開閉・軽量化モデル)&修理/オーバーホール

耐腐食性能を高めメンテナンスサイクル延長を実現させるオリジナルデザインの
CMP洗浄装置ブラシタンク用QCドライ/ウェットサイドアッセンブリーです。

特 徴
  • 3通りのソリューション「新品販売、アップグレード付き修理/オーバーホール、部品販売(PMキット)」が提供可能です。
  • 金属部品を耐薬品性の高い樹脂に変更することで耐腐食性能向上及び軽量化が図れます。
  • 耐久性、耐薬品性に優れたオリジナルベアリングも個別に販売しています。
  • 純正品と比べてリーズナブル、短納期、性能向上が実現できる一石三鳥の高付加価値商品です。
自動洗浄(セルフクリーニング)システム 自動洗浄(セルフクリーニング)システム

ブラシタンク用 QCドライ/ウェットサイド用 改造ベアリング(耐久・耐腐食性向上モデル)

耐腐食性、潤滑性に優れたQCドライ、ウェットサイド用”Si3N4ベアリング"
によるソリューションも提供します。

QCドライ/ウェットサイド用改造ベアリング
特 徴
  • 完全補完構造ベアリング
    (内部ベアリングスペーサー が不要な構造 です)
  • 200mm、300mm共に互換性があります。
  • 純正SUSまたはセラミック単体のベアリングと比べて低密度、高強度、低熱膨張、良耐腐食性、割れへの タフさの性能を兼ね備えています。
    <参考情報:Cu工程にて純正品(4ケ月)に対し、Si3N4ベアリング(19ケ月連続使用中)>
  • 用途に応じて上下キャップをSUSとPEEKのどちらか からセレクトすることができます。
  • 内部のSi3N4ボールは高精度の表面形状を維持し、潤滑性に優れた性能を実現させます。また素早い 温度の拡散特性も備えています。

ブラシタンク用 QCギアボックスアッセンブリー(プーリー脱落防止モデル) & 修理(リペア)/オーバーホール

プーリーの脱落現象を改善できるオリジナルデザインのCMP洗浄装置ブラシタンク用QC ギアボックスの
"アップグレード付き修理/オーバーホール"サービスです。

特 徴
  • 純正タイプのQCギアボックスをお預かりし、洗浄及び独自設計の改造ギアクランプを取り付けます。
  • 改造ギアクランプの採用により、使用中のプーリーの脱落及び摩耗粉の発生を抑えることができます。
ギアボックスアッセンブリー>

メガ/ブラシタンク用 ローラーモジュール修理 (リペア)/オーバーホール

CMP洗浄槽のメガソニックタンク、ブラシタンク用ローラーモジュールを修理・再生するサービスです。

特 徴
  • 純正品の構造に準拠した修理/オーバーホールです。
  • 純正品よりもリーズナブルで、リードタイムも3~4週間とお求めやすい内容です。
  • ローラーモジュールの新品販売も可能です。
  • 別途、「ウェハ回転検知」の機能を取り付けるサービスも行っています。
    メガ/ブラシタンク用ウェハ回転検知システム
  • その他メガタンク構成部品のメガローラー/メガアイドルローラーも販売しています。
メガ/ブラシタンク用ローラーモジュール修理(リペア)/オーバーホール

メガ/ブラシタンク用 ウェハ回転検知システム

メガタンク内ローラーモジュールに"センサ付きローラー"を追加し、
"ウェハの回転信号"を検知させることでトラブルを未然に防ぐことを可能にします。

メガ/ブラシタンク用 ウェハ回転検知システム

半導体装置部品の
販売/再生/修理/オーバーホール

CMPランニングコスト低減
・作業性改善用オリジナルパーツ

CMP修理/再生/オーバーホール

CMP設備改良・トラブル未然防止
機能追加サービス

イオン注入(インプラ)
修理/再生/オーバーホール

スパッタリング/CVD/エッチング
修理/再生/オーバーホール

電子MEMS製品・サービスへのお問い合わせ
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バイオ

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