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  4. CMP 研磨/コンディショニングヘッド、プラテン、ロボット用ソリューション

CMP ヘッド(研磨,コンディショニング),プラテン,ロボット 修理/オーバーホール

クロスカバー(疎水性向上モデル)

スラリーが固着し難い改造タイプのクロスカバーです。
この商品を採用することでスラリー固形物落下によるマイクロスクラッチのトラブルを大幅に改善できます。

クロスカバー(疎水性向上モデル)
改造クロスカバーの主な特徴
純正PVC(塩ビ)製クロスカバーよりも以下の性能面で優れています。
  • 強度に優れているため、結果的にヘッドのスピンドル部への接触が小さくて済みます。
  • 滑らかで光沢のある表面であり、スラリーの固着を最小限に抑えることが可能となります。この結果マイクロスクラッチのトラブルを改善することができます。

キャリアヘッドパーツ

TITAN-1用キャリアヘッドをリーズナブルプライスで販売します

キャリアヘッドパーツ

パッドコンディショナーヘッド(リークエラー改善モデル)

CMPパットコンディショナーヘッド(PCH)のメンテナンスサイクル延長を目的とした改造デザインです。

パッドコンディショナーヘッド(リークエラー改善モデル)
改造デザインの特徴
  • ダイヤフラムレス構造によるリークフリー性能
  • 純正PCHとの100%の互換性
  • よりスムーズなアップ/ダウン+回転機能
  • 均一性に優れたダウンフォース
パットコンディショナーヘッド工程フロー

PCHオーバーホールサービス・・・定期的なオーバーホールも安心してお任せください

ギアボックス パッドコンディショナー(リーズナブルモデル)

純正CGI製ギアボックスと100%互換性のある リーズナブルかつ信頼性のあるセカンドパーツを提供します。

パッドコンディショナー(リーズナブルモデル)
特 徴
  • 純正CGIギアボックスと100%互換性があります。
  • 純正CGIよりも約30%程度のコストダウンを実現できます。
  • アウトプットシャフトの長さを純正CGIギアボックスと100%同一にしたカスタマイズモデルも製作可能です。

スリップリング ISRMエンドポイント(アップグレードモデル)

従来品に見られる問題点を改善したアップグレードタイプのエンドポイントスリップリングです。

ISRMエンドポイント(アップグレードモデル)
特 徴
  • 標準品から大幅なコスト削減を実現できます。
  • 標準品と100%互換性があり、改造や追加の配線作業は必要ありません。
  • 出荷前のベンチテストを実施しているので安心してご利用頂けます。

モーター ウェットロボット(寿命改善モデル)Z, X, Wrist & Shoulder

従来品に見られる問題点を改善したアップグレードタイプのロボットモーターです。

ウェットロボット(寿命改善モデル)Z, X, Wrist & Shoulder
特 徴
  • シャフトを押し込んでもエンコーダが壊れないライフ延長モデルです。
  • Z軸、X軸、Wrist、Shoulder全てにおいて100%の純正互換品をご用意しています。

モーター コルモーゲン(KOLLMORGEN) 修理(リペア)/オーバーホール

ウェットロボット(寿命改善モデル)Z, X, Wrist & Shoulderポリッシングヘッド(研磨ヘッド)用“コルモーゲンモーター”をリーズナブルプライスで再生します。

モータータイプ: D101A, D101B
主な不具合箇所事例
NO 写真 内容
1 コルモーゲン不具合箇所事例1

マグネッドモジュール

物理的摩耗・破損・剥離発生 不良時交換実施

2 不具合箇所事例

ベアリング劣化
Rotation Fail発生

交換実施

3 不具合箇所事例3

各部品の摩耗劣化に
伴うパーティクル発生

分解

4 不具合箇所事例4

リゾルバー

コイル切れ等による品質劣化による回転不良発生
不良時交換実施

出荷検査
NO 検査事項 備考
1 Communication Check -
2 通電状態確認 -
3 基本動作確認
(異音・ノイズチェック)
-
4 回転動作テスト
(50RPM, 100RPM, 150RPM, 200RPM)
±5%spec

本モーター用ドライバを用いた(Servo Star Drive (Z06E-67292) 動作試験を実施し、製品性能の保証を行っています

モーター用ドライバで性能保証

モーター ヘッドスウィープ修理(リペア)/オーバーホール(ケーブル断線防止改良付き)

従来品に見られる問題点を改善したアップグレードタイプのヘッドスウィープアッセンブリーです。

再生品のイメージ

ヘッドスウィープ修理(リペア)/オーバーホール

再生品は回転(前後の動作)チェックのためのベンチテストを出荷前に実施しているので安心してご使用頂けます。

モーター プラテン & ギアボックス修理(リペア)/オーバーホール

プラテンの回転機構である「プラテンモーター」及び「ギアボックス」をリーズナブルプライスで再生します。

モーター プラテン & ギアボックス修理
特 徴
  • 純正新品の50%、修理は30%強のコスト削減が実現できます。
  • プラテンモーターとギアボックス共に修理可能です。
  • プラテンモーターとギアボックスをセットで受領し、分解~組立までの一連の工程を全てこちらで対応します。
  • 組立後の機能検査も実施していますので安心して再生品をご利用頂けます。
  • 200mm、300mm用CMP装置向けに対応可能です
  • 一部O/H済み中古品の販売も可能です。 オイル漏れの無いオイルフリータイプのギアボックス(新品)も販売しています。

ギア/ベース/ハブ パッドコンディショナー修理 (リペア)/オーバーホール

コンディショニングヘッド用"ギア"をリーズナブルプライスで再生します。

パッドコンディショナー修理
特 徴
  • ローテーションモーターギア(RMG)、ハーモニックドライブ(HD)O/H込みの再生サービスです
  • 故障内容に応じた再生オプションにより最も費用対効果の高い再生修理が実現できます。
    (例:標準O/H、RMG交換込、HD交換込、 RMG+HD交換込)
  • オリジナルベアリングを使用することで納期短縮、性能向上に貢献できます。
  • 最終動作確認とその検査結果の詳細レポートを添付します。
  • 状況によりモーター交換及びアーム付きAssyの修理も承ります。

HCLUロードカップ修理(リペア)/オーバーホール

ポリッシングヘッド待機機構のHCLUロードカップをリーズナブルプライスで再生します。

特 徴
  • 純正再生時の約50%の価格帯で修理します。
    (センターシャフト、センタリングジョーは再生します)
  • 交換部品は純正パーツを使用します。
  • 組立後の機能検査も実施していますので安心して再生品をご利用頂けます。
HCLUロードカップ修理(リペア)/オーバーホール

レーザー ISRMエンドポイント修理

従来品に見られる問題点を改善したアップグレード付きエンドポイントレーザーの修理サービスです。

レーザー ISRMエンドポイント修理
特 徴
  • On/Offチップセットダメージを低減できるオリジナルデザインです。
  • 証明済みのレーザー強度
  • 証明済みのコミュニケーション性能
  • 48時間のベンチテスト
    (フラッグタイミングをシュミレーションします)

スピンドルリビルド

スピンドルの洗浄+部品交換+組立のサービスです。
用途に応じて「2種類の組上げ方法」から選択することができます。

スピンドルリビルド

UPA部移設(ケーブル断線未然防止)作業

スペース的に限界のあるUPA部をよりシンプルな構造にし、
ケーブルの断線及びケーブル起因不具合を最小限に抑えることができます。

UPA部移設(ケーブル断線未然防止)作業
特 徴
  • UPAボード上のP1/P2ケーブルを容易に交換
  • UPAプレッシャーチェック
  • 装置アラームの発生低減
  • EチェインモーションによるP1/P2ケーブルダメージを回避
  • ポリッシングシャークによるUPA構成部品紛失を回避

トラブル検知モニタリングシステム

オンラインでの装置モニタリングを可能にし、装置トラブル起因の生産ロスを最小限に抑えるシステムです。

アラーミング機能取り付けサービス

改造PCHを導入いただいた後に、下記のセンサー機能の取り付けも行っています。

標準パック
  • PCHのアップ/ダウン検知
  • PCHの回転検知
  • プラテンの回転検知
その他オプション
  • DIウォーター圧力
  • 高圧リンス
  • 洗浄/ペデスタル
  • インタープラテン洗浄
  • グローバルイリゲーション
  • カセットタブフィル等
トラブル検知モニタリングシステム

自動洗浄(セルフクリーニング)システム

装置部品に飛び散ったスラリーを純水スプレーで洗い流すシステムです。
乾燥したスラリー固形物から発生するウェハのマイクロスクラッチ問題を改善することができます。

特 徴
  • スプレーユニット一式の販売とその取付け作業を請け負います。
  • マイクロスクラッチを気にされるユーザーには大変効果的なシステムです。
  • 取り付けたい場所に任意でスプレーを設置することが可能です。
自動洗浄(セルフクリーニング)システム

半導体装置部品の
販売/再生/修理/オーバーホール

CMPランニングコスト低減
・作業性改善用オリジナルパーツ

CMP修理/再生/オーバーホール

CMP設備改良・トラブル未然防止
機能追加サービス

イオン注入(インプラ)
修理/再生/オーバーホール

スパッタリング/CVD/エッチング
修理/再生/オーバーホール

電子MEMS製品・サービスへのお問い合わせ
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バイオ

[バイオ研究用 機器・試薬]

  • 核酸
  • 細胞培養・イメージング
  • タンパク質・有機物

[バイオ技術を用いた商品]

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