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デスクトップホットプレート

mems 半導体 pv バイオ
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プリベーク・ポストベークに適した、デスクトップサイズのホットプレート。
用途に合わせたカスタマイズ可能。SPS社製

ホットプレート

SPS社製の精密ホットプレートです。この卓上型のホットプレートは、プレート(チャック)の交換やアップグレードが容易で、多目的かつR&Dやパイロット生産に最適です。

シングル及びダブル基板に対応しています(φ200mmウェハにも対応)。デュアルプロセッシング向けに、表面上にいくつかの異なる温度を設定する事が可能です。精密なデジタル温度コントローラーにより、1℃単位での温度設定が出来ます。ソフトベーク、ハードベーク処理、およびフォトレジストや樹脂のキュアリングや、精密な温度制御が必要とされるあらゆる工程に適しています。

特徴

  • 低い表面温度:ヒーティングユニットは傾斜状になっています(安全なハウジング温度)
  • 診断用シリアルインターフェース(RS232)
  • 精密温度制御システム: 温度の均一性.: +/- 0.5℃
  • デジタル温度コントローラー: 1℃単位で調整可能
  • アラートサウンド機能付きカウントダウンタイマー (1-999秒)
関 連 商 材

樹脂性多目的スピンプロセッサー

樹脂性多目的スピンプロセッサー

オール樹脂性、ブラッシュレスモーター採用、豊富なオプションや拡張性を持ったスピンコーター“POLOS”。SPS社

mems 半導体 pv バイオ NIL
 
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  • 核酸
  • 細胞培養・イメージング
  • タンパク質・有機物

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